第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路 (第2/3页)

    下一刻。

    一个标题出现在众人眼中。

    【笼促配位团簇EUV光刻胶研发思路】。

    这个想法，其实早在冯宴发生意外前，林决便在考虑的了。

    最后......

    先是通过开启【超频】找到思路，最后经过【全知】进行验证后。

    林决终于完成了这套方案。

    其核心思路。

    是彻底抛弃化学键成像机制，利用自主构建EUV激发二次电子，通过静电场缔合，完成溶解度切换。

    全程不破坏分子结构，不拖落配体！

    其中，最让林决满意的是，这种方法从根源上.......

    完全解决了传统光刻胶材料最大的问题———

    真空出气污染！！

    目前全世界做法。

    只要进行曝光，那么必然产生有机碎片。

    如此一来，金属小分子便必然会挥发，然后逆流，给光路镜面，pelliCle薄膜造成污染。

    这是传统方法不可逆的缺陷！

    但林决却能大力出奇迹，直接窥探到一条全新路径。

    .........

    “笼促配位团簇？”

    众人看着屏幕上那前所未闻的名词，神情都是有发懵。

    见状，林决将PPT画面切掉，关于创新思路的相关理论出现在众人眼前。

    “在我的新方案中，要用到的核心理论，来自于笼腔电子势自捕理论，配位零解离稳定，库仑场可控缔合，无扩散局域反应......”

    这些理论在高端功能材料，配位凝聚态领域，都是非常前沿的分支。

    在座作为国内顶尖材料方面学者，对其基本都是有所涉猎。

    不过在他们印象中。

    像库伦可控，局域无扩散这俩理论。

    以往都是用于设计储能，电响应软物质的.......

    众人还是头一次看到，有人将他们用到极紫外感光成像之中来！

    ..........

    接下来的一个小时里。

    林决从框架上，大概跟众人讲述了下自己的思路。

    不过，由于其中理论有理论颇具深度，也只有像袁

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